Taiscí copair, ar a dtugtar freisin plating copar ceimiceach, giorraithe mar PTH. Is é a phríomhchuspóir ciseal tanaí agus aonfhoirmeach copair a thaisceadh ar dhromchlaí seoltacha neamh- de chláir chiorcaid phriontáilte, mar bhallaí poll inslithe agus limistéir shonracha áirithe nach scragall copair, trí imoibrithe ceimiceacha, ag tabhairt seoltacht do na codanna neamhsheoltacha ar dtús, ag leagan an bhunsraith le haghaidh próisis copair leictreaphlátála ina dhiaidh sin, agus ar deireadh thiar a bhaint amach idirnascadh leictreach interlayer na gclár ciorcad priontáilte.
Agus clár ciorcad priontáilte ilchiseal á ghlacadh mar shampla, ní mór naisc leictreacha idir sraitheanna a dhéanamh trí vias. Tar éis druileála, tá balla an poll inslithe, agus gan cóireáil tumoideachais copair, ní féidir leis an sruth dul tríd an bpoll chun seoladh interlayer a bhaint amach. Tá an ciseal copair cosúil le "droichead" a thógáil, rud a ligeann don sruth sreabhadh go réidh idir na sraitheanna, ag cinntiú sláine agus feidhmiúlacht chóras leictreach an bhoird chuaird ar fad. Má tá fadhbanna leis an bpróiseas taiscí copair, mar shampla taisceadh ciseal copair míchothrom, tiús neamhleor, nó lochtanna cosúil le folúntas, d'fhéadfadh tarchur comhartha éagobhsaí, gearrchiorcaid nó ciorcaid oscailte a bheith mar thoradh ar fheidhmíocht agus ar shaol seirbhíse an bhoird chuaird chlóite.
Sreabhadh próiseas sil-leagan copair
réamhphróiseáil
Díbhurrú: Tar éis druileála, féadfaidh poill cláir chiorcaid phriontáilte burrs a tháirgeadh, agus féadfaidh smionagar druileála fanacht taobh istigh de na poill. Bain na burrs agus na sliseanna druileála seo trí scuabadh meicniúil agus meilt chun próiseáil rianúil ina dhiaidh sin a chinntiú, damáiste a sheachaint do bhalla agus dromchla an phoill, agus go ndéanfaidh sé difear don éifeacht taisce copair.
At: I gcás cláir ilchiseal, d'fhéadfadh sé go ndéanfaí dochar don roisín eapocsa sa chiseal istigh le linn an phróisis druileála. Bain úsáid as gníomhairí at ar leith, mar chomhdhúile orgánacha éitear, chun an roisín eapocsa a mhaolú agus a at, ag ullmhú do na céimeanna druileála ina dhiaidh sin chun a chinntiú go mbaintear an smionagar druileála go héifeachtach agus chun an greamaitheacht idir an balla pore agus an ciseal copair a fheabhsú.
Bain gliú agus smionagar druileála: Ag baint úsáide as maoin láidir ocsaídeach sármhanganáite potaisiam, faoi choinníollacha teocht ard agus alcaileach láidir, téann sé faoi imoibriú scoilteadh ocsaídiúcháin le smionagar druileála roisín eapocsa ata agus bog chun é a bhaint. Mar shampla, ag teocht áirithe agus timpeallacht alcaileach, imoibríonn sármhanganáite potaisiam leis na slabhraí carbóin i roisín eapocsa, rud a fhágann go bhriseann agus a dhianscaoileadh, rud a bhaint amach an sprioc chun an balla pore a ghlanadh.
Neodrú: Bain substaintí iarmharacha cosúil le sármhanganáite potaisiam, sármhanganáite potaisiam, agus dé-ocsaíd mhangainéise as an bpróiseas a bhaineann le sármhanganáit photaisiam a úsáid chun smionagar druileála a bhaint. Toisc go mbaineann hiain mhangainéise le hiain miotail throma, féadann siad "nimhiú Pallaidiam" a chur faoi deara sna céimeanna gníomhachtaithe ina dhiaidh sin, rud a fhágann go gcaillfidh hiain nó adaimh pallaidiam a ngníomhaíocht gníomhachtaithe, rud a chuireann isteach ar éifeacht mhiotalú pore. Dá bhrí sin, ní mór iad a bhaint go críochnúil.
Baint ola/glanadh poill: Bain úsáid as sainghníomhairí bainte ola chun stains ola agus neamhíonachtaí eile a bhaint de dhromchla an chláir. Ag an am céanna, trí ghníomhaíocht an ghníomhaire foirmithe pore, déantar airíonna muirir an bhalla pore a choigeartú chun a dhromchla a mhuirearú go dearfach, ag cur asaithe catalaíoch aonfhoirmeach ina dhiaidh sin chun cinn.
Micrimhilseogra eitseála: Ag baint úsáide as réiteach micrea eitseála chun ocsaídí agus neamhíonachtaí eile a bhaint ar an dromchla copair, agus micrea-garbhú an dromchla copair. Ní hamháin go bhfeabhsaíonn sé seo an cumas ceangailteach idir an dromchla copair agus an copar leictrealaíoch ina dhiaidh sin, ach cuireann sé timpeallacht dromchla níos oiriúnaí ar fáil freisin chun catalaíoch a asaithe.
Tumoideachas aigéad: Glan an púdar copair atá ceangailte leis an dromchla copair tar éis micrea eitseáil chun íonacht an dromchla copair a chinntiú agus coinníollacha fabhracha a chruthú le haghaidh céimeanna gníomhachtaithe ina dhiaidh sin.
catalas
Réamh-thumoideachas: cuireann sé cosc ar ghlanadh neamhiomlán an phróisis roimhe seo agus neamhíonachtaí ó dhul isteach san umar pallaidiam daor, agus na ballaí pore roisín eapocsa á bhfliuchadh chun asaithe an chatalaíoch ar dhromchla an phláta a chur chun cinn. Tá an comhdhéanamh céanna go bunúsach ag an umar réamh-sáithithe agus an umar gníomhachtaithe ina dhiaidh sin ach amháin mura bhfuil pallaidiam ann.
Gníomhachtú: Úsáideann an chéim seo de ghnáth catalaíoch mar Pd/Sn nó Pd/Cu chun ligean do na micelles pallaidiam luchtaithe go diúltach ar an dromchla cloí leis na ballaí pore mar gheall ar ghníomhaíocht an pholaiméir mesoporous. Trí chóireáil gníomhachtaithe, soláthraítear suíomhanna gníomhacha catalaíoch le haghaidh sil-leagan copair cheimicigh ina dhiaidh sin, rud a ligeann do iain chopair dul faoi imoibrithe laghdaithe ag na suíomhanna gníomhacha seo.
Luasghéarú: Bain an chuid collóideach den chiseal seachtrach de cháithníní pallaidiam collóideach, ag nochtadh an croí Pallaidiam catalaíoch, ag cinntiú greamaitheacht maith idir an ciseal plating copair electroless agus an balla pore. Mar shampla, cloíonn micelles Pallaidiam leis an mbord, agus tar éis níocháin agus aeraithe uisce, cruthaítear sliogán Sn (OH) 4 lasmuigh de na cáithníní Pd, a bhaintear luasaire cineál HBF4 chun an croí pallaidiam a nochtadh.
Taiscéaladh copair cheimiceach: Cuir an bord ciorcad priontáilte cóireáilte go catalaíoch isteach i umar taiscí copar ceimiceach ina bhfuil salainn chopair (cosúil le sulfáit chopair) agus oibreáin laghdaithe (cosúil le formaildéad). Faoi ghníomh catalaíoch croí Pallaidiam, laghdaítear na hiain chopair le formaildéad agus déantar iad a thaisceadh ar bhallaí pore an bhoird chuaird chlóite agus ar dhromchlaí scragall neamh-copair a dteastaíonn seoltacht uathu, rud a chruthaíonn sraith tanaí copair de réir a chéile. De réir mar a théann an t-imoibriú chun cinn, is féidir le copar ceimiceach nua-ghinte agus hidrigin fotháirgí imoibrithe feidhmiú mar chatalaíoch imoibrithe, ag cur chun cinn leanúnach an imoibrithe agus ag méadú tiús na ciseal copair. Is féidir na cineálacha taiscí copar ceimiceacha a roinnt ina chopar tanaí (0.25-0.5 μ m), copar meánach (1-1.5 μ m), agus copar tiubh (2-2.5 μ m) de réir an éilimh.
postáil-próiseáil
Níochán uisce: Tar éis an sil-leagan copair a bheith críochnaithe, baintear na ceimiceáin iarmharacha ar dhromchla an chláir chiorcaid phriontáilte go hiomlán trí níochán uisce ilchéime chun éifeachtaí díobhálacha substaintí iarmharacha ar phróisis ina dhiaidh sin a chosc.
Triomú: Ag baint úsáide as modhanna cosúil le triomú aer te chun taise a bhaint as dromchla an bhoird chuaird chlóite, é a choinneáil i stát tirim le haghaidh stórála agus próiseála ina dhiaidh sin.
iniúchadh cáilíochta
Tástáil leibhéal an chúlshoilse: Déan slisní balla poll agus breathnaigh ar an gclúdach copair taiscthe ar bhalla an phoill ag baint úsáide as micreascóp meiteagrafach. Tá an leibhéal backlight roinnte go ginearálta i 10 leibhéal, agus dá airde an leibhéal, is amhlaidh is fearr an clúdach copair taiscthe ar bhalla an poll. De ghnáth, éilíonn caighdeáin tionscail rátáil Níos mó ná nó cothrom le 8.5. Trí thástáil leibhéal backlight, is féidir aonfhoirmeacht agus sláine na ciseal copair taiscthe ar bhalla an poll a thuiscint go hintuigthe, agus is féidir cáilíocht an chopar taiscthe a mheas chun na ceanglais a chomhlíonadh.
Brath tiús ciseal copair: Bain úsáid as trealamh gairmiúla ar nós tomhsairí tiús X- chun tiús na ciseal copair taiscthe a thomhas, ag cinntiú go gcomhlíonann sé an raon tiús atá riachtanach don dearadh. Tá caighdeáin éagsúla ag cásanna iarratais éagsúla agus ceanglais táirgí maidir le tiús na ciseal taiscí copair.
Tástáil greamaitheachta: Bain úsáid as modhanna cosúil le tástáil téip chun an greamaitheacht idir an ciseal copair agus an tsubstráit bord ciorcad priontáilte a thástáil. Mar shampla, bain úsáid as téip ghreamaitheach ar leith chun greamaithe ar dhromchla an chiseal copair, ansin é a craiceann go tapa agus breathnaigh an bhfuil an ciseal copair scafa, chun a mheas an gcomhlíonann an greamaitheacht an caighdeán. Is táscaire tábhachtach é greamaitheacht mhaith chun cobhsaíocht agus iontaofacht na ciseal copair taiscthe a chinntiú.
Cigireacht balla poll: Ag baint úsáide as micreascóp nó uirlisí eile, déan iniúchadh cúramach ar an gciseal copair ar an mballa poll le haghaidh leanúnachas, lochtanna mar fholús agus scoilteanna, chun a chinntiú go gcomhlíonann cáilíocht na ciseal copair ar an mballa poll ceanglais iontaofachta an chiorcaid.
Príomhphointí rialaithe próisis sil-leagan copair
Rialú teochta: Tá an ráta imoibrithe le linn sil-leagan ceimiceach copair an-íogair don teocht. D'fhéadfadh sil-leagan míchothrom de chiseal copair a bheith mar thoradh ar theocht iomarcach agus ráta imoibrithe tapa, rud a fhágann go mbeidh lochtanna cosúil le garbh agus folúntas; Tá an teocht ró-íseal, tá an ráta imoibrithe mall, tá an éifeachtacht taiscí copair íseal, agus tá tiús na ciseal copair deacair na ceanglais a chomhlíonadh. Mar shampla, is gá go ginearálta teocht umar plating copar ceimiceach a rialú go beacht idir 25-35 céim, ag brath ar fhoirmle an tuaslagáin cheimicigh a úsáidtear agus riachtanais an phróisis.
Rialú PH: Is féidir le luach pH tuaslagáin difear a dhéanamh ar fhoirm na n-ian copair agus ar ghníomhaíocht gníomhairí laghdaitheora. Is féidir le luachanna pH míchuí an t-imoibriú a chosc ó dhul ar aghaidh i gceart nó go dtiocfadh laghdú ar cháilíocht na ciseal copair. Sa phróiseas taiscí copair, de ghnáth is gá an luach pH a rialú laistigh den raon alcaileach de 11-13 agus luach pH cobhsaí a choinneáil trí choigeartóirí pH a chur leis.
Rialú tiúchan réitigh: Ní mór rialú docht a dhéanamh ar thiúchan salainn copair, gníomhairí laghdaithe, gníomhairí chelating, agus comhpháirteanna eile den réiteach laistigh den raon sonraithe. Is féidir le tiúchan iomarcach nó neamhleor difear a dhéanamh ar ráta agus ar cháilíocht na sil-leagain copair. Mar shampla, is féidir le tiúchan íseal salainn copair a bheith mar thoradh ar ráta taiscí copair mall agus tiús ciseal copair neamhleor; Féadfaidh tiúchan iomarcach gníomhaire laghdaithe a bheith ina chúis le imoibriú iomarcach agus difear a dhéanamh ar aonfhoirmeacht na ciseal copair. Is gá tiúchan an leigheas a thástáil agus a choigeartú go rialta chun a chinntiú go bhfuil sé sa stát próisis is fearr.
Rialú ama imoibrithe: Cinneann an t-am taisce copair tiús deiridh na ciseal copair. Tá an t-am ró-ghearr, agus ní chomhlíonann tiús na ciseal copair na ceanglais dearaidh; Ní hamháin go n-ídíonn an iomarca ama acmhainní, ach d'fhéadfadh sraitheanna tiubh copair a bheith mar thoradh air freisin, rud a fhágann go mbeidh criostalú garbh agus laghdaigh greamaitheacht. De réir cineálacha éagsúla taisce copair agus riachtanais phróisis, ba cheart an t-am taiscí copair a rialú go beacht. Mar shampla, is é an t-am sil-leagan copair le haghaidh copar tanaí go ginearálta 10-15 nóiméad, agus le haghaidh copar meánach agus tiubh, ba cheart é a leathnú go comhfhreagrach.