Tá anbord ciorcadcosúil le líonra iompair uirbeach casta agus beacht, ag nascadh go leor comhpháirteanna leictreonacha ar bhealach ordúil chun oibriú cobhsaí an trealaimh a chinntiú. Tá tábhacht mhór ag baint le forbairt na gclár ciorcad, mar phríomh-nasc i bpróiseas déantúsaíochta na gclár ciorcad.
Prionsabal forbartha
Tá forbairt na gclár ciorcad bunaithe ar phrionsabal na n-imoibrithe fótaiceimiceacha. Nuair a bhíonn cláir chiorcaid á ndéanamh, déantar ciseal d'ábhar fóta-íogair, mar shampla scannán tirim nó scannán fliuch photoresist, brataithe go haonfhoirmeach ar an dromchla an copar-cladach laminate. Tá na fotoresists seo íogair do thonnfhad solais ar leith, amhail is dá mbeadh "lasc fótarfhreagrach" tugtha dóibh. Nuair a bhíonn masc le patrúin ciorcad clúdaithe ar an gciseal photoresist agus faoi lé solas ultraivialait, téann an photoresist i limistéar trédhearcach an masc faoi imoibriú fóta-pholaiméirithe, agus athraíonn an struchtúr móilíneach ó bheith intuaslagtha i dtuaslagán an fhorbróra go dtí a bheith dothuaslagtha. Agus i gceantair nach bhfuil faoi lé solais, coinníonn an photoresist intuaslagthacht fós. Ina dhiaidh sin, tá an bord ciorcad tumtha i dtuaslagán forbróra, agus déantar an photoresist neamhnochta a thuaslagadh agus a bhaint, rud a fhágann gur féidir an patrún ciorcad a chur i láthair go soiléir ar dhromchla an bhoird chladaigh copair, cosúil le solas geal ag taitneamh sa dorchadas, ag soilsiú imlíne leagan amach an chuaird.
Próiseas forbartha
ullmhúcháin
Roimh fhorbairt fhoirmiúil, is gá a chinntiú go bhfuil gach ábhar agus trealamh i riocht maith. Seiceáil an gcomhlíonann cineál, tiúchan agus teocht an réitigh atá ag forbairt riachtanais an phróisis. Freagraíonn cineálacha éagsúla fótaisintéis do shaintréithe éagsúla a bhaineann le réitigh a fhorbairt, mar réitigh forbraíochta alcaileach a úsáidtear go coitianta chun photoresists scannáin thirim a fhorbairt. Ag an am céanna, ba cheart glanadh agus dífhabhtú a dhéanamh ar threalamh a fhorbairt, mar shampla meaisíní forbartha spraeála nó tumoideachais, chun oibriú cobhsaí an trealaimh a chinntiú agus comhordú beacht na gcomhpháirteanna ar nós an chórais tarchurtha agus an chórais spraeála.
Oibríocht a fhorbairt
Cuir an bord ciorcad nochta isteach sa mheaisín atá ag forbairt go réidh. Agus an spraeáil ag forbairt, déanann an nozzle ardbhrú an forbróir a spraeáil go cothrom agus go láidir ar dhromchla an chláir chiorcaid, agus téann an forbróir i dteagmháil go tapa leis an bhfótaresist neamhnochta agus téann sé faoi imoibriú díscaoilte. De réir mar a ghluaiseann an bord ciorcad, déantar an dromchla iomlán a ghlanadh ceann ar cheann, agus déantar na patrúin ciorcad níos soiléire de réir a chéile. Is é an tumoideachas an próiseas chun an bord ciorcad a thumadh go hiomlán i umar ina bhfuil tuaslagán forbróra, agus é a mhúscailt go cuí chun a chinntiú go ngníomhóidh réiteach an fhorbróra go hiomlán ar an photoresist agus go ndíscaoileann sé an chuid gan nochtadh. Sa phróiseas seo, tá sé ríthábhachtach an t-am forbartha a rialú go beacht. Má tá an t-am ró-ghearr, d'fhéadfadh go mbeadh iarmhar photoresist gan nochtadh, rud a d'fhéadfadh fadhbanna cosúil le ciorcaid ghearr a bheith mar thoradh air; Má tá an t-am ró-fhada, déanfar an imeall photoresist nochta a chreimeadh ró-mhór, rud a fhágann go n-éireoidh an ciorcad níos tanaí nó fiú ciorcad oscailte.
Sruthlaigh agus tirim
Tar éis an fhorbairt a bheith críochnaithe, tá réiteach forbróra iarmharach agus neamhíonachtaí photoresist tuaslagtha ar dhromchla an bhoird chuaird. Is gá sruthlaithe láithreach le méid mór uisce chun na hiarmhair seo a bhaint go críochnúil agus cosc a chur orthu tionchar diúltach a bheith acu ar phróisis ina dhiaidh sin. Tar éis sruthlaithe, baintear taise dromchla an bhoird chuaird ag baint úsáide as modhanna cosúil le triomú aer te nó triomú i bhfolús, ionas go dtiocfaidh an bord ciorcad isteach sa chéad phróiseas déantúsaíochta eile i stát tirim agus glan, ag leagan bunús maith le haghaidh eitseála, leictreaphlátála agus próisis eile.
Príomhfhachtóirí a dhéanann difear don éifeacht forbartha
Paraiméadair fhorbróra
Tá tionchar suntasach ag tiúchan, teocht, agus luach pH an fhorbróra ar an éifeacht forbartha. Is féidir le tiúchan iomarcach agus luas forbartha tapa a bheith ina chúis le imill garbh agus forbairt iomarcach an chuaird; Tiúchan íseal, luas forbartha mall, agus forbairt neamhiomlán féideartha. Tá an teocht chomh ríthábhachtach céanna. De réir mar a mhéadaíonn an teocht, luasghéaraíonn an ráta imoibrithe forbartha, ach is féidir le teochtaí ró-ard a bheith ina chúis le leathnú agus dífhoirmiú an photoresist, rud a dhéanann difear do chruinneas; Tá an teocht ró-íseal, agus mar thoradh ar éifeachtacht forbartha íseal. Ní mór an luach pH a rialú go docht freisin. Tá ceanglais shonracha ag photoresists éagsúla maidir le luach pH an réitigh atá ag forbairt, agus d'fhéadfadh forbairt neamhghnácha a bheith mar thoradh ar chlaonta ón raon cuí.
Caighdeán nochta
Cinneann an próiseas nochta staid polymerization an photoresist agus tá sé ina réamhriachtanas tábhachtach don éifeacht forbartha. Fuinneamh nochta neamhleor, polaiméiriú neamhiomlán photoresist, díorma éasca le linn na forbartha, rud a fhágann go bhfuil ciorcaid ar iarraidh; Fuinneamh nochtadh iomarcach, polaiméiriú iomarcach photoresist, deacracht i bhforbairt, agus fiú an fhéidearthacht teip a fhorbairt. Ina theannta sin, is féidir le fachtóirí cosúil le cruinneas ailínithe agus aonfhoirmeacht soilsithe le linn an phróisis nochta difear díreach a dhéanamh ar chruinneas agus soiléireacht an phhatrún ciorcad, rud a dhéanann difear don éifeacht forbartha.
Feidhmíocht trealaimh
Bíonn tionchar díreach ag feidhmíocht forbartha trealaimh ar chaighdeán na forbartha. Cinneann brú an nozzle, uillinn spraeála, agus raon clúdaigh an mheaisín forbartha cineál spraeála aonfhoirmeacht dáileadh an réitigh atá ag forbairt ar dhromchla an bhoird chuaird; Bíonn tionchar ag an modh stirring agus déine an mheaisín forbartha tumoideachais ar an éifeachtúlacht imoibrithe idir an réiteach atá ag forbairt agus an photoresist. Ní féidir neamhaird a dhéanamh ar chobhsaíocht tarchurtha an trealaimh. Má tá an bord ciorcad croith nó reo le linn an phróisis forbartha, beidh sé ina chúis le forbairt míchothrom agus beidh tionchar tromchúiseach ar cháilíocht an patrún ciorcad.